除了硬质合金和钨电极之外，光也是微孔加工的良好“工具”材料。虽然大多数用于钻孔的激光都在红外光谱中，但是一些大型机械加工厂也采用了带有绿色光束的超脉冲技术。与其他种类的微处理光束不同，超级脉冲是纳秒激光，绿色光束的波长为532 nm。这种技术产生一对激光脉冲，每对脉冲的持续时间为4至5纳秒，间隔为50至100纳秒。这项技术的加工方法使加工效率提高了一倍。与其他激光加工相比，这项技术大大提高了金属去除率。因为这个激光脉冲很短，所以对工件材料的热损伤已经大大减少了。   

       精密机械零部件加工超脉冲激光加工空隙的最小直径为45微米，但这种加工最常用于由H系列钢材料制成的柴油喷油器中90微米至110微米的孔的加工。根据排放标准的要求，这些孔的直径应该减小到50到70微米，因为孔越小，燃料就能充分燃烧。

       此外，通过该技术加工的孔也具有负锥度，即入口直径小于出口直径，这有利于燃料的流动。精密机械零部件加工这项技术的另一个常见应用是在航空涡轮叶片上制造冷却孔。虽然叶轮只有1.5 mm到2mm厚，这个孔的入口角度应该为25°，以允许冷空气抵靠孔壁流动，并更好地冷却它，也就是说，孔的长度将达到5 mm。温度是航空发动机的主人，叶轮运行的环境温度越高，燃料利用率越高，获得的推进力越大。 

        为了增强这项技术的竞争力，大型机械加工厂家开发了一种专利材料，可以注入中空部分，以防止光束烧毁正在加工的孔下面的壁。整理后，这种材料可以完全去除。激光加工的一个缺点是光束总是在遇到另一个实体之前传播，这将在加工柴油喷嘴时损坏相对壁的内表面。 

      超脉冲处理设备的价格是65万到80万美元，虽然这比EDM设备的高，但是电极不会用于光加工。“激光加工使用光作为工具”节省了电极的费用。根据大型机械加工制造商的不同应用，机械钻孔、刀片铣削、电火花加工和光加工都在微孔加工中占有一席之地。